国产半导体高端检测设备实现新突破

近日，天准科技参股的苏州矽行半导体技术有限公司宣布，公司面向40nm技术节点的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已完成厂内验证，标志着国产半导体高端检测设备实现了新的突破。

作为国产半导体设备厂商的代表，成立于2021年11月的矽行半导体，汇聚了来自国内外知名半导体设备公司、晶圆代工厂、上市公司和研究机构的顶尖人才，专注于高端晶圆缺陷检测设备及零部件的研发、生产和销售，努力填补国产缺陷检测设备市场的空白。依托卓越的技术团队和先进的技术实力，逐步打破了KLA等外商对缺陷检测市场的垄断，为国内半导体产业的发展注入了新的活力。

此外，天准科技在半导体设备领域持续发力。全资子公司MueTec研发的面向12英寸40nm技术节点的DaVinci G5设备，经过大量的晶圆实测数据验证，表现优异。与前两代产品相比，该设备提升了重复性、吞吐量和高深宽比套刻标记识别能力，将在满足大规模生产的需求下，使复杂芯片图案的套刻精度检测成为可能，极大地提高制造效率。

随着人工智能、大数据等技术的融合与发展，半导体检测设备将趋向更高精度、更高效率和更高智能化的方向演进。天准科技将凭借其技术创新和战略布局，继续推动技术和产品升级，力争在半导体领域成为一流的半导体量测与检测设备公司，助力国产半导体行业突破。

责任编辑：柴晶晶